高溫爐操作規程
1 準備工作
a,檢查電源線接觸是否良好
b,檢查連接線是否正常
c,檢查冷卻水是否正常
d,檢查密封性是否正常
e, 準備所需工具:無塵紙、無水酒、帆布手套、作業手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
2 開爐
a,打開主電源開關
b, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板
c, 將輸送車開關打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕,取出 。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開關.
d, 清爐 清理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物
3裝料
a,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
b、拔出限位桿,輸送車開關打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內,并確定輸送車會到初始位置。
c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關緊爐門
4 高溫爐抽氣
a、檢查爐門是否關緊,真空系統是否密封
b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計開關 P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率,
c、當壓力表指示為 50Pa是關閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
加熱 先打開水環泵 再按 RUN,開始工藝加熱。
冷卻
a、加熱結束后,按工藝條件進行冷卻;